先进电子材料与器件校级平台(以下简称“AEMD平台”)创建于2012年,是为全校科研工作提供服务的大型仪器设备校级共享平台,具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能。AEMD平台在学校各级领导的大力支持下,成为相关学科依托发展的重要支撑力,同时也为科研工作提供完善的保障。
AEMD平台分别座落于交大闵行校区微电子大楼一层(西区)以及综合实验楼一层(东区),实验室共有近1510m2的100级、1000级净化室,其中100级210 m2,1000级约1300m2。除此之外,平台还拥用近250m2非净化测试加工区。
平台建设有一条能对硅、玻璃和有机材料进行微纳米加工的3~6英寸半导体级实验线(西区实验室)以及一条3~4英寸非硅/MEMS微纳加工实验线(东区实验室),部分设备可实现8英寸基片加工。平台拥有电子束曝光系统、双束聚焦离子束系统、双面对准紫外光刻机(3台)、热压/紫外纳米压印系统、涂胶显影系统(3套)、微波去胶机(3台)、氧化扩散炉(5管,2套)、多晶硅/氮化硅LPCVD炉(2管)、快速热处理设备、湿法清洗刻蚀台(12台套)、多靶磁控溅射系统(4台套)、超高真空磁控溅射系统、电子束蒸发设备(2套)、离子束溅射机、离子束刻蚀机、等离子增强化学气相沉积设备、金属反应离子刻蚀设备、介质反应离子刻蚀设备、深硅刻蚀系统(2套)、微电铸/电镀系统、OLED器件实验制备系统、基片抛磨设备、砂轮切片系统、场发射扫描电镜、原子力显微镜、半导体参数测试仪(2套)、霍尔效应仪、四探针测试仪、表面轮廓仪(3台)、紫外膜厚仪等先进的微纳加工与测试设备,具备10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。
AEMD平台的创建提高了我校大型仪器的利用水平,并为跨学科的交叉研究、国内外的合作提供了平台,也为高层次的人才培养提供了良好的实验基地;平台也向社会相关科研机构与企业公开开放,提供相关项目合作与微纳加工服务。