由中国科学院所属公司和海外技术专家于2010年4月28日组建的高新技术企业，两次承担国家科技重大专项。公司致力于研究和生产世界领先的极大规模集成电路行业专用薄膜设备，矢志成为纳米级薄膜制造技术解决方案的领导者。
公司座落于沈阳国家级高新技术产业区——浑南新区，是国内唯一能够生产适用于大规模集成电路生产线的PECVD设备供应商，现已形成2-12英寸PECVD设备、12英寸ALD设备、OLED薄膜设备的三个完整系列产品，广泛应用于集成电路、先进封装TSV、光波导、LED、OLED显示等高端技术领域。
　　公司遵循国际化企业运营模式，结合了海外专家和优秀的国内人才。公司现有海外专家7人，其中国家千人计划专家3人，员工人数达到230人，研发人员占81%, 申请专利300余项。

　　公司矢志成为国际水平的薄膜制造企业，愿与业界伙伴建立真诚、友好、共赢的产业合作联盟，为中国及世界半导体产业的发展做出贡献。